微波等離子設備參數：

3 kWcw/4.5kW的脈沖HF-輸出

緊湊型設計

易于安裝

集成隔離

聯鎖：磁控管過溫保護（5-50℃）

水冷:10升/分鐘，6至10bar

波導WR340 (BJ26)

集成定向耦合器用于反射功率監控

頻率：2450±20

功率：1KW，2KW，3KW，6KW，15KW（可選）

915MHz微波等離子體可接受預定